THA系列主动减振器

产品特性：

三思减振THA系列主动减振器主要应用于一些对微振敏感的高端检测设备，针对于AFM和SEM而开发的高端主动减振器。

高端仪器在进行高倍率的图像处理和精密设备需要达到纳米级精度时，都需要对微振进行一个有效的抑制，三思的6自由度主动减振就是一个很好的选择，并能根据不同环境和工况的需求，提供有效的解决方案。



产品特点：

·轻巧便捷，安装方便，无需气源，接入电源即可使用
·手动/自动调节水平，操作简便
·6自由度振动信号实时检测，执行器提供推力，主动衰减振幅

·实时监控台面振动

产品应用：

显微镜、光学设备、检测设备等

传递率







规格参数








产品特点：

·THA2系列气浮式主动减振，针对扫描电镜、透射电镜、扫描隧道显微镜等超精密设备而研发
·采用三思高端型气浮减振器进行基础隔振，即使在安装现场环境有不规律的冲击振动时，也能确保持续的振动稳定性

·三思自研的THA主动减振系统，实现6自由度主动减振。前馈控制技术与反馈控制相结合，在低频范围提供出色的隔振效果

·可选电控自动调平系统或机械调平系统，自动调整水平，一键启动减振

产品应用：

显微镜、光学设备、检测设备等

传递率



规格参数

产品结构说明：

产品特性

1. 安装方便，无需气源，接入电源即可使用；

2. 手动调节水平，操作简便；

3. 模块化的主动减振器，可根据设备重量和尺寸，制作成各种平台；

4. 6自由度振动信号实时检测，执行器提供推力，主动衰减振幅；

5. 实时监控台面振动。

产品应用

显微镜、光学设备、检测设备等

产品特性

1. THA3系列气浮式主动减振，为光刻机等运动平台设备而研发，消减大质量滑块运动带来的振动；

2. 采用三思高端型气浮减振器进行基础隔振，即使在安装现场环境有不规律的冲击振动时，也能确保持续的振动稳定性；

3.三思自研的THA主动减振系统，实现6自由度主动减振。地面振动前馈与反馈控制相结合，提供出色的隔振效果；；

4. 运动前馈与速度反馈控制结合，有效消减平台运动加速度，快速稳定平台振动；

5. 阀控气动调平系统，可自由调整各减振器高度，一键启动减振。

产品应用

半导体设备，及高精度、高速度加速度的精密运动平台等

产品用途：

显微镜、光学设备、检测设备等静态设备或微动设备