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精密加工设备
精密机床加工精度的要求日益提高。采用纳米技术,可以使机器在剪切、旋转、抛光和定位时到达微米级甚至埃及(0.1纳米)的精度。
高精度机床
超高精度的设备在许多行业中应用,包括半导体晶片加工、光学/镜头加工和非标材料的加工。
高精度定位设备包括钻石车削机床、X-Y坐标机和CD计量仪,通常用激光干涉法对材料定位,用以进行纳米指标检测。此外,如表面光度仪,轮廓度仪,粗糙度仪和圆度仪等设备需要提供亚微米级的测量。
超精密运动平台
设备功能包含对光学玻璃,晶体,非铁金属,高分子材料和陶瓷材料的超精密车削和微磨。通常上述材料的表面需要加工到不需要或(需要少量)抛光就达到亚微米级的表面光滑度。例如CD,隐形眼镜模具,光学镜片和激光镜等就是这样加工出来的。
高端检测设备
此类设备如三座标检测,为检测超高精度产品,减少振动对零件检测造成的误差,必须加上隔振器即可满足终端客户的要求。
光学平台设备
隔振器能有效隔离振动对光学设备的影响,提供高清图像采集的效率,避免重影,提高图像采集的精确度。
半导体行业
半导体设备是指光刻机、晶圆检测设备等,这类设备的精度要求都非常高,对振动均非常敏感,通常需求主动隔振器才能满足要求,也有检测类设备被动隔振器即可满足。这类设备的隔振器是标配产品,隔振器能抑制振对设备运行的影响,保证设备的稳定性和纳米精度要求。