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本篇文章将为大家讲解主动隔振系统是如何工作的,应用领域,以及有什么限制。由于主动隔振系统在半导体制造业的大量应用,因此得到了特别的关注。
一套复杂的光学系统是否稳定,在很大程度上取决于光学平台和隔振腿的性能。随着应用的不断丰富,光学系统的设计正变得愈发复杂,也为光路稳定性带来更大挑战——如果安装使用不正确,即使最完美的隔振方案也难以起到效果。
光学平台中的重复定位精度同精密位移台中概念不同,光学平台的重复定位精度,是指在空载和在一定条件下加上负载并去除负载,光学平台最终稳定后的高度差。